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龙图腾网获悉杭州昂坤半导体设备有限公司申请的专利一种用于晶圆测量的位姿调节装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121075985B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511612918.6，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种用于晶圆测量的位姿调节装置是由李瑞青;黄康宁;马铁中设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆测量的位姿调节装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆测量的位姿调节装置，该装置用于对夹持有目标晶圆的治具进行调节，包括：第一支撑机构，包括第一V型结构件，用于对第一定位件进行定位与支撑，以确定半封闭治具的基准点；第二支撑机构，包括第一导向件及滑设于第一导向件内的第二V型结构件，用于对第二定位件进行定位与支撑，以及用于调节的第一调节组件与第二调节组件；第三支撑机构，包括第二导向件及滑设于第二导向件内的第三V型结构件，用于对第三定位件进行定位与支撑，以及用于调节的第三调节组件与第四调节组件。本发明能够对设备主体内的目标晶圆进行位姿调整，从而提升晶圆测量的检测效率与检测精度。

本发明授权一种用于晶圆测量的位姿调节装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆测量的位姿调节装置，设于晶圆测量设备内，所述晶圆测量设备包括设备主体与设于所述设备主体内的镜组单元，其特征在于： 所述装置用于对夹持有目标晶圆的半封闭治具进行调节，以改变所述目标晶圆在所述设备主体内与所述镜组单元之间的相对位置； 所述装置包括： 第一支撑机构，包括第一V型结构件，用于对设于所述半封闭治具开口处第一位置的第一定位件进行定位与支撑，以确定所述半封闭治具的基准点； 第二支撑机构，包括第一导向件及滑设于所述第一导向件内的第二V型结构件，用于对设于所述半封闭治具开口处第二位置的第二定位件进行定位与支撑，以及分别用于调节所述第二V型结构件相对于所述第一导向件进行Y向运动与X向运动的第一调节组件与第二调节组件； 第三支撑机构，包括第二导向件及滑设于所述第二导向件内的第三V型结构件，用于对设于所述半封闭治具中第三位置的第三定位件进行定位与支撑，以及分别用于调节所述第三V型结构件相对于所述第二导向件进行Y向运动与Z向运动的第三调节组件与第四调节组件。

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