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龙图腾网获悉内蒙古京航特碳科技股份有限公司申请的专利一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121063960B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511614479.2，技术领域涉及：C04B41/87；该发明授权一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法是由杨艳秋;孙永利;马景龙;张丽红;董旸华;李杨;褚坤设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了无机非金属材料技术领域的一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法，该方法首先对石墨件进行表面打磨、清洗和干燥预处理；随后采用包含膦嗪功能化硅氮烷和硼‑硅卡拉米特复合物的溶液对预处理后的石墨件进行喷涂并干燥固化，形成表面改性层；最后将表面改性的石墨件置于化学气相沉积设备中，在特定温度、压力和气氛下沉积形成碳化硅涂层。该方法通过独特的表面改性处理有效促进了碳化硅涂层的均匀成核与结晶，显著提高了涂层的致密性、均一性以及与基体的结合力。所得涂层石墨件具有优异的抗热腐蚀性、抗氧化性和力学性能，在半导体外延设备中使用寿命和使用次数显著提升，且整个制备过程环境友好，适用于大型石墨基材的涂层处理。

本发明授权一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种石墨件碳化硅涂层的制备方法，其特征在于，步骤包括： S1、将切割后的石墨件表面用金刚石研磨膏打磨，然后放入丙酮溶剂中超声波清洗；随后将清洗后的石墨件在110-130℃烘箱中干燥，得到预处理后的石墨件； S2、采用包含磷腈功能化硅氮烷和硼-硅卡拉米特复合物的溶液对预处理后的石墨件进行喷涂处理，随后进行干燥固化处理，得到表面改性的石墨件； 所述磷腈功能化硅氮烷的制备方法包括：A1、在干燥的氩气氛围下，将六氯环三磷腈溶解于无水四氢呋喃中，冷却至-8~-10℃；在搅拌下，滴加由氨丙基三乙氧基硅烷和三乙胺溶解于无水四氢呋喃形成的混合溶液；滴加完毕后，升温至室温，继续搅拌；A2、加热至64-66℃，持续反应；反应完成后，冷却至室温，通过真空过滤，浓缩滤液得到粗产物；将粗产物溶于正己烷中，并通过硅胶柱色谱进行纯化，收集馏分； 所述硼-硅卡拉米特复合物的制备方法包括：B1、将1,4-二4-羟基苯基苯与三异丙基硼酸酯溶于甲苯中，加入对甲苯磺酸；加热回流，持续反应；反应完成后，冷却至室温，得到酸酯化合物；B2、将酸酯化合物与氢化三甲氧基硅烷和三三苯基膦氯化铑置于高压反应釜中，加入无水二氯甲烷；用氩气置换反应釜内空气，然后充入氩气；加热至58-62℃，持续搅拌反应；反应完成后，冷却至室温，通过硅藻土垫过滤；向滤液中加入三苯基膦，过滤后，滤液用旋转蒸发仪浓缩，得到粗产品；将粗产品溶于二氯甲烷中，并通过中性氧化铝柱色谱进行纯化，收集馏分； S3、将表面改性的石墨件置于化学气相沉积设备的反应腔内；向所述反应腔内通入含硅反应源、含碳反应源和载气，在表面改性的石墨件表面沉积形成SiC涂层；沉积完成后，在氩气气氛下冷却至室温。

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