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龙图腾网获悉南京华瑞微集成电路有限公司申请的专利一种晶圆上下料装置及其检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035029B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511287865.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆上下料装置及其检测系统是由胡兴正;李加洋设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆上下料装置及其检测系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆上下料装置及其检测系统，涉及半导体处理设备技术领域，晶圆上下料装置利用三根竖置且侧壁上带有多个环形凹槽的软杆共同承载多个晶圆，三根软杆受控上下移动且彼此之间间距按需进行调整；通过在三根软杆的同一高度同时施压的方式限制在该高度的晶圆的空间位置；在软杆的顶部设置用于引导软杆移动方向的硬质弯管，软杆在引导下发生弯曲时将其定位的晶圆暴露出来以便夹子夹持晶圆并运走；整个装置的使用过程利用环形凹槽接触晶圆且无需频繁转移实现预定位；实现了晶圆上下料装置使用便捷、转移晶圆过程简便、占用空间小、作业效率高、不易损伤晶圆底面且针对不同规格的晶圆的适用性强的技术效果。

本发明授权一种晶圆上下料装置及其检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆上下料装置，其特征在于：数量为两个，其一用于晶圆上料，其一用于晶圆下料，其包括基础载体100、用于带动晶圆承载组件上下移动的升降板组件、限位管组件、引导管组件、晶圆承载组件、挤压定位组件； 所述限位管组件包括定位在基础载体100上的衔接块310和三个限位单元；限位单元呈辐射状定位在所述衔接块310的周圈，为一端设有竖置管体的伸缩杆； 所述晶圆承载组件包括三个为竖置的杆状的承载单元；承载单元包括基础硬质杆510和贯穿限位单元的管体且定位在基础硬质杆510顶部的承载软杆520； 承载软杆520包括软磁材质的内芯521和外套软管522；所述外套软管522的外壁上设有一列环形的限位槽523； 所述引导管组件为板体与管体的组合，引导晶圆承载组件的承载软杆520在靠近晶圆上下料装置顶部的位置由直变曲，进而将最顶部的晶圆暴露出来； 所述挤压定位组件用于在靠近引导管组件的管体底部的位置靠向承载软杆520施加水平压力进而挤压定位晶圆。

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