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龙图腾网获悉上海森桓新材料科技有限公司申请的专利一种半导体温控设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121028920B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511559430.1，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权一种半导体温控设备是由尚家庄;张丽娇;顾伟超;修国华;王辉明设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体温控设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体温控设备，包括液氮供应单元、换热单元及能量回收单元，液氮供应单元通过液氮管路与换热单元连通，换热单元与能量回收单元通过传热流体管路连通，液氮供应单元包含具有液氮出口的液氮储罐；换热单元包括深冷换热器、负载换热端，深冷换热器具有壳体以及设在壳体内的氮气管及传热流体换热器，传热流体换热器与氮气管间壁换热，传热流体换热器设置在氮气管旁，负载换热端用于冷却目标负载，本发明采用液氮作为冷源，通过间接制冷系统冷却低温传热流体，再由低温传热流体冷却目标负载以实现精确温控。解决了液氮直冷导致的热冲击与温度波动大的问题，可满足3nm及以下先进制程的极低温工艺需求。

本发明授权一种半导体温控设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体温控设备，其特征在于，包括：液氮供应单元、换热单元及能量回收单元，所述液氮供应单元通过液氮管路与所述换热单元连通，所述换热单元与所述能量回收单元通过传热流体管路连通， 其中，所述液氮供应单元包含液氮储罐，所述液氮储罐具有液氮出口； 所述换热单元包括深冷换热器、负载换热端及传热流体管路，所述深冷换热器具有壳体、氮气管及传热流体换热器，所述氮气管与所述传热流体换热器设置在所述壳体内，所述传热流体换热器与所述氮气管间壁换热，所述壳体具有氮气出口，所述氮气管的一端与所述液氮出口连通，所述传热流体换热器设置在所述氮气管旁，具有传热流体进口和传热流体出口；所述氮气管与所述液氮出口的管路上设有减压阀，液氮经所述减压阀汽化后的气氮从所述氮气管流出，所述负载换热端用于冷却目标负载，一端通过所述传热流体管路连通所述传热流体出口，另一端通过所述传热流体管路连通所述能量回收单元，在所述传热流体换热器与所述负载换热端之间的所述传热流体管路上设有调节传热流体流量的泵，所述负载换热端所在的工作腔体内设有温度传感器； 所述能量回收单元利用气氮预冷传热流体，包括通过氮气管路连通氮气出口的预冷器，所述预冷器的一端通过所述传热流体管路连通所述传热流体进口，另一端连通所述负载换热端，所述传热流体为液态的烷烃或氟流体，在所述负载换热端与所述深冷换热器间还设有用于缓冲所述传热流体体积膨胀的膨胀罐。

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