惠科股份有限公司蓝天获国家专利权
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龙图腾网获悉惠科股份有限公司申请的专利位移测量系统和位移测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120970464B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511471532.8,技术领域涉及:G01B7/02;该发明授权位移测量系统和位移测量方法是由蓝天;李泽尧;崔见玉;朱先飞;杨鑫鑫;杨茂坤;黎杰威设计研发完成,并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本位移测量系统和位移测量方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种位移测量系统和位移测量方法。位移测量系统包括栅尺和侦测模块。栅尺,包括周期排布的多个栅电极;栅电极被配置为接收相位不同的扫描信号;侦测模块,包括侦测电极和处理单元;在位移测量过程中,侦测电极与栅尺发生相对位移并输出耦合电压;处理单元根据预设分辨率和耦合电压进行拟合,并确定位移量。通过使各栅电极的扫描信号的相位具有唯一性,以及对相邻栅电极对应的耦合电压进行数据拟合,将微米级位移分解为纳米级分辨率,满足精密制造领域对高精度的需求。
本发明授权位移测量系统和位移测量方法在权利要求书中公布了:1.一种位移测量系统,其特征在于,包括: 栅尺,包括周期排布的多个栅电极;所述栅电极被配置为接收相位不同的扫描信号; 侦测模块,包括侦测电极和处理单元;在位移测量过程中,所述侦测电极与所述栅尺发生相对位移并输出耦合电压;所述处理单元根据预设分辨率和所述耦合电压进行拟合,并确定位移量; 所述侦测模块还包括存储单元,所述存储单元用于至少存储所述侦测电极在预设路径上的路径点-电压映射关系; 所述处理单元还根据所述路径点-电压映射关系和所述预设分辨率进行拟合,并建立位移量-电压映射关系,还用于在位移测量过程中通过实时耦合电压查询获得对应的所述位移量; 其中,所述根据所述路径点-电压映射关系和所述预设分辨率进行拟合,并建立位移量-电压映射关系,包括: 获取所述预设路径上第一路径点对应的第一耦合电压以及第二路径点对应的第二耦合电压;其中,所述第一路径点与所述第二路径点为所述预设路径上任意相邻的两个所述路径点; 根据所述预设分辨率获取相邻两个所述路径点区间内的状态位置数量; 以所述第一耦合电压和所述第二耦合电压为基准点,拟合生成从所述第一路径点至所述第二路径点区间内的状态位置-电压对应关系; 根据所述状态位置-电压对应关系,建立所述位移量-电压映射关系。
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