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全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利光学邻近校正方法、电子设备和计算机可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120928643B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511453379.6,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权光学邻近校正方法、电子设备和计算机可读存储介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

光学邻近校正方法、电子设备和计算机可读存储介质在说明书摘要公布了:本公开涉及一种光学邻近校正方法、电子设备和计算机可读存储介质。光学邻近校正方法包括:将初始版图图形的轮廓切割为多个线段;将在轮廓的预设区域的线段切割为多个第一点;针对多个线段以及多个第一点中的每个第一点分别确定相应的光强误差,其中光强误差指示仿真图形与目标版图图形之间的偏差;将光强误差与第一阈值进行比较;以及移动具有大于第一阈值的光强误差的线段以及第一点以生成具有更小的光强误差的更新的版图图形。本公开实施例的方案可以在有效控制计算成本的同时显著降低版图图形预设处的收缩效应。

本发明授权光学邻近校正方法、电子设备和计算机可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种光学邻近校正方法,包括: 将初始版图图形的轮廓切割为多个线段; 将在所述轮廓的预设区域的所述线段切割为多个第一点; 针对所述多个线段以及所述多个第一点中的每个第一点分别确定相应的光强误差,其中所述光强误差指示仿真图形与目标版图图形之间的偏差; 将所述光强误差与第一阈值进行比较;以及 移动具有大于所述第一阈值的所述光强误差的所述线段以及所述第一点以生成具有更小的光强误差的更新的版图图形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人全芯智造技术有限公司,其通讯地址为:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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