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龙图腾网获悉江苏新思达电子有限公司申请的专利一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844041B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510958497.6，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统是由幸启松;武达设计研发完成，并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统，涉及真空镀膜相关领域，包括：对基材表面进行检测单元网格动态划分；通过红外热成像仪对自适应网格基材表面进行实时扫描，得到基材动态温度分布矩阵；根据镀膜厚度与温度梯度的映射关系，对基材动态温度分布矩阵进行预测，得到镀膜均匀性预测图谱；将基材动态温度分布矩阵和镀膜均匀性预测图谱进行融合处理，得到交叉验证网格；当任意一个网格验证不通过时，生成三维补偿向量；实时调控镀膜设备的工艺参数。解决现有镀膜工艺执行监控存在的对镀膜均匀性的预测不够准确，难以实时、精准调控工艺参数的技术问题，达到准确预测镀膜的均匀性，实时、精准调控工艺参数的技术效果。

本发明授权一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法，其特征在于，所述方法包括： 对真空镀膜腔体内的基材表面进行检测单元网格动态划分，得到自适应网格基材表面； 通过红外热成像仪对所述自适应网格基材表面进行实时扫描，得到基材动态温度分布矩阵； 根据镀膜厚度与温度梯度的映射关系，对所述基材动态温度分布矩阵进行分析预测，得到镀膜均匀性预测图谱； 将所述基材动态温度分布矩阵和所述镀膜均匀性预测图谱进行对齐融合处理，得到交叉验证网格； 当所述交叉验证网格中的任意一个网格验证不通过时，生成三维补偿向量； 根据所述三维补偿向量实时调控真空镀膜设备的工艺参数； 其中，根据镀膜厚度与温度梯度的映射关系，对所述基材动态温度分布矩阵进行分析预测，得到镀膜均匀性预测图谱，包括： 获取历史镀膜数据，包括历史基材动态温度分布矩阵和历史膜厚偏差值矩阵，其中，膜厚偏差值指实际膜厚与标准膜厚的差值； 根据所述历史基材动态温度分布矩阵进行相邻网格温度梯度计算，得到历史基材温度梯度分布矩阵； 将所述历史基材温度梯度分布矩阵和所述历史膜厚偏差值矩阵输入卷积神经网络模型进行训练学习，得到镀膜厚度与温度梯度的映射关系； 根据所述映射关系，对所述基材动态温度分布矩阵进行分析预测，得到镀膜均匀性预测图谱； 其中，将所述历史基材温度梯度分布矩阵和所述历史膜厚偏差值矩阵输入卷积神经网络模型进行训练学习，得到镀膜厚度与温度梯度的映射关系，包括： 构建双分支卷积神经网络模型，其中，所述双分支卷积神经网络模型包括第一分支和第二分支； 所述第一分支接收所述历史基材温度梯度分布矩阵，通过卷积核提取空间特征； 所述第二分支接收前N个生产批次中相同位置的历史基材温度梯度分布矩阵，通过LSTM层提取时间特征，其中，N≥3； 将所述空间特征和所述时间特征进行加权拼接，得到膜厚偏差值预测矩阵； 当所述膜厚偏差值预测矩阵和所述历史膜厚偏差值矩阵的均方误差低于预设均方误差阈值且预测准确率达到预设准确率阈值时，停止训练并导出镀膜厚度与温度梯度的映射关系； 其中，当所述交叉验证网格中的任意一个网格验证不通过时，生成三维补偿向量，包括： 从所述交叉验证网格中提取绝对温度和温升速率； 若所述绝对温度不满足预设温度区间和或所述温升速率不满足预设温升速率区间，将对应网格标记为危险网格； 从所述危险网格中提取膜厚偏差预测值进行交叉验证，若所述膜厚偏差预测值不满足预设膜厚偏差区间，则验证不通过，生成三维补偿向量； 其中，所述验证不通过还需满足温度-膜厚协同验证条件，所述协同验证条件如下： 根据基材材料和所述绝对温度、所述温升速率，计算温度异常度； 根据基材材料和所述膜厚偏差预测值，计算膜厚异常度； 将所述温度异常度和所述膜厚异常度相乘，得到协同因子； 若所述温度异常度大于预设温度异常度阈值且所述膜厚异常度大于预设膜厚异常度阈值且所述协同因子大于预设协同因子阈值，则判定验证不通过； 其中，当所述交叉验证网格中的任意一个网格验证不通过时，生成三维补偿向量，包括： 从验证不通过网格中提取温度异常信息和膜厚异常信息； 根据所述温度异常信息，计算等离子体枪的角度补偿量； 根据所述膜厚异常信息，计算溅射功率补偿量和驻留时间补偿量； 将所述角度补偿量、所述溅射功率补偿量和所述驻留时间补偿量进行整合，生成所述三维补偿向量。

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