深圳市大族微电子科技有限公司叶健鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族微电子科技有限公司申请的专利激光加工方法、装置、激光调控方法及工件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120715447B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510886289.X，技术领域涉及：B23K26/53；该发明授权激光加工方法、装置、激光调控方法及工件是由叶健鹏;梁宗森;陈国栋;吕洪杰;杨朝辉设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工方法、装置、激光调控方法及工件在说明书摘要公布了：本申请涉及一种激光加工方法、装置、激光调控方法及工件。该激光加工方法包括：对入射激光束进行分束，形成多束子光束；调节各所述子光束之间的光程差，以使得各所述子光束到达待加工基材上相同加工位置的时间不同；将经光程差调节后的各所述子光束合并至相同光路上，形成合束激光束；使用所述合束激光束对所述待加工基材进行加工。采用本方法能够提高产品加工质量和可靠性。
本发明授权激光加工方法、装置、激光调控方法及工件在权利要求书中公布了：1.一种激光加工方法，其特征在于，所述方法包括： 对入射激光束进行分束，形成多束子光束； 调节各所述子光束之间的光程差，以使得各所述子光束到达待加工基材上相同加工位置的时间不同；所述光程差用于使得各所述子光束到达待加工基材上相同加工位置的时间差，处于电子和激子浓度高于预设浓度阈值的时间范围；预先通过测试确定所述预设浓度阈值，并测试确定电子和激子浓度高于所述预设浓度阈值的时间范围，根据所述时间范围以及激光传播速度，计算出对应的光程差范围； 将经光程差调节后的各所述子光束合并至相同光路上，形成合束激光束； 使用所述合束激光束对所述待加工基材进行加工。
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