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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116222423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310094754.7，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法是由乔潇悦;苏榕;白云波;刘世杰设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法在说明书摘要公布了：本发明一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法属于精密测量技术领域，具体涉及一种平面绝对检测方法；本发明利用参考平晶、反射平晶和辅助平晶两两组合，建立线性方程组并求其最小范数解，即可获取各平晶的绝对全面形，有效提高干涉仪测量光学平面的精度，减少参考平晶面形误差的影响；此外，只需将辅助平晶单次旋转90°或180°，即可达到基于奇偶函数的绝对检测方法的精度，无需多次旋转辅助平晶，因此检测过程更加简单。

本发明授权一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于最小范数解的光学平面绝对检测方法，定义： 干涉仪的参考平晶为A面； 干涉仪的反射平晶为B面； 绝对检测中所使用的辅助平晶为C面； 其特征在于，包括以下步骤： 步骤a、A面和B面干涉，得到测量值为M1x,y＝A-x,y+Bx,y； 其中，A-x,y为A面-x,y位置的面形误差，Bx,y为B面x,y位置的面形误差； 步骤b、保持A面不动，A面和C面干涉，得到测量值为M2x,y＝A-x,y+Cx,y； 其中，Cx,y为C面x,y位置的面形误差； 步骤c、保持B面不动，B面和C面干涉，得到测量值为M3x,y＝C-x,y+Bx,y； 其中，C-x,y为C面-x,y位置的面形误差； 步骤d、将C面旋转90°或180°，B面和C面组合测量，在C面旋转90°的情况下，得到测量值为M4x,y＝C-y,-x+Bx,y，在C面旋转180°的情况下，得到测量值为M4x,y＝Cx,-y+Bx,y； 其中，C-y,-x为C面-y,-x位置的面形误差，Cx,-y为C面x,-y位置的面形误差； 步骤e、用步骤b+步骤c-步骤a，得到： Cx,y+C-x,y＝M2x,y+M3x,y-M1x,y＝N1x,y 步骤f、用步骤b+步骤d-步骤a，得到： Cx,y+C-y,-x＝M2x,y+M4x,y-M1x,y＝N2x,y 步骤g、将步骤e和步骤f联立，构造线性方程组： 在C面旋转90°的情况下， 在C面旋转180°的情况下， 步骤h、遍历x和y的所有取值，形成AX＝N线性方程组，其中，A矩阵为0和1构成的矩阵，X矩阵为C面面形误差构成的矩阵，N矩阵为步骤e和步骤f推导结果构成的矩阵，求得X的最小范数解为X＝ATAAT-1N；即求得Cx,y，C-x,y和C-y,-x； 步骤i、将Cx,y，C-x,y和C-y,-x分别带入步骤a、步骤b、步骤c和步骤d，求得A面和B面的面形误差。

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