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龙图腾网获悉华灿光电(浙江)有限公司申请的专利废液回收系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116068866B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310020171.X，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权废液回收系统及方法是由房伟杰;汤淼;李威;吴兆甑;李俊生;汪洋;冬旻弘设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本废液回收系统及方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种废液回收系统及方法，属于半导体制造技术领域。废液回收系统包括：废液回收装置，用于收集显影机台排出的废液；废液过滤装置，用于对废液回收装置收集的废液进行过滤，滤除显影液与光刻胶反应后产生的化学物质，将未发生反应的剩余显影液和水排至浓度调节装置；浓度调节装置，用于对废液过滤装置排出的显影液和水混合而成的溶液的浓度进行监控；当溶液的浓度符合条件时，排出溶液；当溶液的浓度不符合条件时，通过控制溶液中水的含量，调节溶液的浓度，使溶液的浓度符合条件，并在溶液的浓度符合条件时，排出溶液。

本发明授权废液回收系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种废液回收系统，其特征在于，所述废液回收系统包括：废液回收装置、废液过滤装置和浓度调节装置； 所述废液回收装置，用于收集显影机台排出的废液； 所述废液过滤装置，用于对所述废液回收装置收集的废液进行过滤，滤除显影液与光刻胶反应后产生的化学物质，将未发生反应的剩余显影液和水排至所述浓度调节装置； 所述浓度调节装置，用于对所述废液过滤装置排出的显影液和水混合而成的溶液的浓度进行监控；当所述溶液的浓度符合条件时，排出所述溶液；当所述溶液的浓度不符合条件时，通过控制所述溶液中水的含量，调节所述溶液的浓度，使所述溶液的浓度符合条件，并在所述溶液的浓度符合条件时，排出所述溶液； 所述浓度调节装置包括主体结构，所述主体结构中部开设有容纳腔； 所述容纳腔的开口为溶液入口，所述主体结构的侧壁具有与所述容纳腔连通的溶液排出口和废水排出口，所述溶液排出口的高度大于所述废水排出口的高度； 所述调节装置还包括位于所述容纳腔内的浓度检测单元和位于所述废水排出口的第三过滤网和电磁阀，所述浓度检测单元和所述电磁阀电连接。

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