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山东天岳先进科技股份有限公司梁庆瑞获国家专利权

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龙图腾网获悉山东天岳先进科技股份有限公司申请的专利一种8英寸以上碳化硅衬底获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116024665B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211724336.3,技术领域涉及:C30B29/36;该发明授权一种8英寸以上碳化硅衬底是由梁庆瑞;李霞;宋生;马立兴;王瑞;刘家朋;王含冠;宋建;周敏;薛传艺;张长银;赵建国;滕永懂设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种8英寸以上碳化硅衬底在说明书摘要公布了:本发明提供了一种8英寸以上碳化硅衬底,涉及晶体材料领域。所述碳化硅衬底具有不高于50的相对应力。本发明8英寸以上碳化硅衬底解决现有碳化硅衬底的加工应力大、翘曲度和弯曲度超标、表面金属离子浓度过高以及亲水效果差等问题。

本发明授权一种8英寸以上碳化硅衬底在权利要求书中公布了:1.一种8英寸以上碳化硅衬底,其特征在于,所述碳化硅衬底的相对应力不高于50; 所述碳化硅衬底的SFQR不高于2μm,Bow<25μm,Sori<45μm,外延前后面型变化不高于10μm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东天岳先进科技股份有限公司,其通讯地址为:250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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