华中科技大学游龙获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种温度传感器组件、温度测量方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116007781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310062010.7,技术领域涉及:G01K7/36;该发明授权一种温度传感器组件、温度测量方法及系统是由游龙;林捷;张帅;周晨希设计研发完成,并于2023-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温度传感器组件、温度测量方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种温度传感器组件、温度测量方法及系统,基于铁磁薄膜,利用温度对于反常霍尔系数或者垂直磁化强度的大小会产生相关影响的物理特性,制备了所述的微米尺寸级别的温度传感器件,通过测量其在不同外界温度下反常霍尔电阻值与垂直磁场大小的变化曲线,建立了反常霍尔电阻差值与温度的对应关系曲线,所述的曲线的多项式拟合优度高,测试结果与拟合曲线的偏差小,从而可以实现对温度的100K至490K较宽测温范围内的高效测量。通过性能评价表明,上述薄膜结构具有良好的垂直磁各向异性,所述温度传感器具有良好的重复测试性能、测温耐久性、较高的测温精度与较宽的测温范围。
本发明授权一种温度传感器组件、温度测量方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种温度传感器组件,其特征在于,所述组件为呈十字型结构的霍尔组件,且所述十字型结构的四条分支的末端上分别设置有金属电极; 其中,两个相互对称的金属电极用于输入预设电流Ic; 另外两个相互对称的金属电极用于测量在单向垂直磁场下,所述组件的反常霍尔电压UA、UB,从而确定所述组件的反常霍尔电阻RH=UA-UBIc,以根据RH及RH-T标准拟合曲线,得到温度测量值;所述RH-T标准拟合曲线为在所述单向垂直磁场下,对不同温度值及在不同温度值下所述组件的反常霍尔电阻值进行拟合得到; 或,另外两个相互对称的金属电极用于测量分别在方向相反的两个垂直磁场下,所述组件的反常霍尔电压UA1、UB1、UA2、UB2,以确定所述组件的反常霍尔电阻差值ΔRH=UA1-UB1Ic-UA2-UB2Ic,根据ΔRH及ΔRH-T标准拟合曲线,得到温度测量值;所述ΔRH-T标准拟合曲线为在所述方向相反的两个垂直磁场下,对不同温度值及在不同温度值下所述组件的反常霍尔电阻差值进行拟合得到; 所述十字型结构和金属电极均包括自下而上依次排列的铁磁薄膜层和绝缘层; 其中,所述铁磁薄膜层为具有铁磁性的Co合金、稀土过渡金属、L10合金或二维材料;所述绝缘层为非磁性介质。
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