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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种晶圆制程良率分析方法、设备及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115965230B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310004724.2，技术领域涉及：G06Q10/0633；该发明授权一种晶圆制程良率分析方法、设备及系统是由董孟龙设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆制程良率分析方法、设备及系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆制程良率分析方法、设备及系统，用以快速确定导致产生缺陷半导体产品的原因，从而可以提高半导体产品良率的提升速度。本申请提供的一种晶圆制程良率分析方法，包括：确定缺陷晶圆批次的至少一种失效类型，并确定每一失效类型对应的多个缺陷半导体产品；针对每一失效类型，利用该失效类型对应的多个缺陷半导体产品的制程历史记录，确定多个缺陷半导体产品的混合制程；其中，所述混合制程包括至少两种制程的组合；并且，根据所述多个缺陷半导体产品的混合制程，生成该失效类型的缺陷半导体产品的产生原因信息。

本发明授权一种晶圆制程良率分析方法、设备及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆制程良率快速提升方法，其特征在于，所述方法包括： 确定晶圆组不良产品，通过物性失效分析确定不良产品的失效类型并确定每一失效类型对应的多个缺陷半导体产品； 对失效类型分类，针对每一失效类型，利用该失效类型对应的多个缺陷半导体产品的制程历史记录生成对应的混合制程记录，所述混合制程包括制备缺陷半导体产品过程中至少两种制程的组合，任一所述晶圆组不良产品的混合制程，包括制备该晶圆组不良产品的连续的第一制程和第二制程，其中，所述第一制程是所述第二制程的前道制程； 针对每一失效类型，利用混合制程记录，生成该失效类型的晶圆组不良产品的产生原因信息，所述产生原因信息包括混合制程信息和或混合制程对应的机台信息，具体包括： 针对每一失效类型： 对于该失效类型下的任一不良产品对应的任一混合制程，根据该混合制程中的制程对应的预设权重，确定该混合制程的得分，其中所述预设权重为根据不同的失效类型，和或，不同类别的制程预先设置，同一失效类型对应的同一类别的制程的预设权重相同； 根据所述不良产品的多个混合制程的得分，生成该失效类型的晶圆组不良产品的产生原因信息，所述混合制程包括至少两种制程的组合； 生成对该失效类型的晶圆组不良产品的产生原因进行调整的指示信息。

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