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龙图腾网获悉苏州知芯传感技术有限公司申请的专利一种压电驱动微镜及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115951490B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211712879.3，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种压电驱动微镜及制造方法是由陈巧;陈亮设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种压电驱动微镜及制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种压电驱动微镜，包括边框衬底1、镜面2、以及两个第一运动梁装置与两个第二运动梁装置彼此一一对应组合构建的两组运动组合梁装置，通过在折叠梁3两侧对应位置设置多段压电片4构成运动梁装置，如此通过对折叠梁3两侧压电片4的同时驱动，即可以得到更大的驱动力，使镜面2偏转更大的角度，同时，采用差分驱动的方式，可以得到正反两个方向对称的角度，使得镜面2扫描指标更好，驱动效率大大提高，实现了大镜面与大转角的同时具备，同时设计实现该压电驱动微镜的制造方法，应用两片SOI硅片，在生长、刻蚀的基础上，通过两片SOI硅片之间的金属键合，高效获得压电驱动微镜。

本发明授权一种压电驱动微镜及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种压电驱动微镜，其特征在于：包括边框衬底1、镜面2、以及两个第一运动梁装置，其中，两个第一运动梁装置的结构彼此相同，各个第一运动梁装置分别均包括一根折叠梁3、以及各段压电片4，各个第一运动梁装置结构中：每两段压电片4划分为一组压电装置，各组压电装置沿折叠梁3长度方向依次分布对应折叠梁3上的各个位置，且相邻两组压电装置之间彼此不对接，各组压电装置中的两段压电片4分别设置于折叠梁3对应位置的上下表面，折叠梁3、以及其表面所设各段压电片4结构以折叠梁3中垂线为轴呈轴对称，且对称轴单侧方向具有至少两组压电装置； 各第一运动梁装置中折叠梁3中点位置的一侧分别连接镜面2边缘上彼此过镜面2中心位置相对的两位置，两个第一运动梁装置中折叠梁3中点位置的另一侧分别连接边框衬底1，基于对各第一运动梁装置中各段压电片4的供电，驱动各第一运动梁装置中的折叠梁3运动带动镜面转动； 还包括两个结构均与第一运动梁装置结构相同的第二运动梁装置，两个第一运动梁装置分别与两个第二运动梁装置一一对应，构成两组运动组合梁装置，各组运动组合梁装置结构中：第一运动梁装置中折叠梁3的两端分别与对应第二运动梁装置中折叠梁3的两端相连接，第一运动梁装置中折叠梁3的中垂线与第二运动梁装置中折叠梁3的中垂线相共线，第一运动梁装置与第二运动梁装置的整体结构相对该共线呈轴对称； 各组运动组合梁装置中其中一侧折叠梁3中点位置的外侧分别连接镜面2边缘上彼此过镜面2中心位置相对的两位置，各组运动组合梁装置中另外一侧折叠梁3中点位置的外侧分别连接边框衬底1，基于对各组运动组合梁装置中各段压电片4的供电，驱动各组运动组合梁装置中第一运动梁装置、第二运动梁装置中的折叠梁3运动带动镜面转动。

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