深圳市利和兴股份有限公司千磊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市利和兴股份有限公司申请的专利基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115950355B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211662880.X,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法是由千磊;潘宇;张磊设计研发完成,并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供了基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法,涉及半导体制造技术领域,检测装置包括检测室,检测室内设置检测平台,检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台,三轴滑台设置Z轴滑台,Z轴滑台前端设置第一安装板,第一安装板下表面固定设置第一工业相机,第一工业相机下方设置真空吸台,真空吸台与检测平台上表面固定连接,检测室内设置控制组件,控制组件包括处理器、存储器、控制器,处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接,控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接。本发明中,通过第一工业相机对油墨印刷尺寸进行自动检测,代替了人工检测,提高了检测精度与检测效率,便于进行半导体的批量生产。
本发明授权基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置,其特征在于,包括:检测室,检测室内设置检测平台,检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台,三轴滑台设置Z轴滑台,Z轴滑台前端设置第一安装板,第一安装板下表面固定设置第一工业相机,第一工业相机下方设置真空吸台,真空吸台与检测平台上表面固定连接,检测室内设置控制组件,控制组件包括处理器、存储器、控制器,处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接,控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接; 真空吸台外周设置转动环,转动环与真空吸台同心设置,转动环内圈与真空吸台外侧壁转动连接,转动环上表面固定设置竖板,竖板前端设置电控旋转台,电控旋转台前侧设置第三安装板,第三安装板靠近真空吸台一端设置第三工业相机,第三工业相机输出端朝向真空吸台上表面,转动环外周设置棘轮齿,转动环后方设置滑板,滑板下表面与检测平台上表面左右滑动连接,滑板前端设置第一套筒,第一套筒内滑动设置限位柱,限位柱远离转动环一端设置第一弹簧,第一弹簧一端与限位柱后端固定连接,第一弹簧另一端与第一套筒内壁固定连接,限位柱靠近转动环一端设置斜面端,斜面端与棘轮齿相适配并与棘轮齿外壁抵接,两个滑板之间设置驱动组件,驱动组件用于驱动两个滑板同步左右滑动,第三工业相机能够环绕待检测件一周,并获取与棘轮齿数量一致的待检测件侧壁图像,根据侧壁图像准确计算导电油墨层的厚度; 根据侧壁图像计算导电油墨层的厚度包括以下步骤: 将待检测件放置到真空吸台上,启动驱动电机及第三工业相机,通过第三工业相机获取待检测件侧壁图像,然后在待检测件侧壁图像中获取厚度检测位置,并从第一数据库中获取厚度比例系数,通过以下公式计算导电油墨层的厚度: 其中,L0为导电油墨层的厚度,X为棘轮齿的实际数量,Li为第i张待检测件侧壁图像中的厚度检测位置处的像素厚度,为第i个厚度比例系数。
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