细美事有限公司朴太东获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利支承单元和用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211043336.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权支承单元和用于处理基板的装置是由朴太东;李忠禹设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本支承单元和用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种支承单元和用于处理基板的装置。具体地，提供了一种支承基板的支承单元。支承单元可以包括：板；设置至板并控制基板温度的加热元件，其中加热元件布置成控制基板的不同区域的温度；以及向所述加热元件供应功率的电源模块，所述电源模块可以配置为向所述加热元件中的至少两个加热元件持续供应功率。
本发明授权支承单元和用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种支承单元，所述支承单元支承基板，所述支承单元包括： 板； 加热元件，所述加热元件设置至所述板并控制基板的温度，其中所述加热元件布置成控制所述基板的不同区域的温度；以及 电源模块，所述电源模块向所述加热元件供应功率， 其中，所述电源模块配置为向所述加热元件的至少两个加热元件持续供应功率， 所述电源模块包括第一输入单元、第二输入单元、确定单元和门单元， 所述第一输入单元接收由控制器施用的控制信号，并且将所述控制信号传送到所述门单元， 所述第二输入单元将由所述控制器施用的控制信号传送到所述确定单元， 所述确定单元接收由所述第二输入单元接收的所述控制信号，并且当所接收到的信号包括至少两个开启信号时，再次输出开启信号， 所述门单元接收由所述确定单元输出的信号和来自所述第一输入单元的所述控制信号，使得所述电源模块向所述加热元件的至少两个加热元件持续供应功率。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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