买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州华兴源创科技股份有限公司申请的专利晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115881568B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211480869.1，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统是由陈文源;张光日设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统。一个实施例中，通过相机获得晶圆的图像，并根据该图像以相机为基准建立变位坐标系，再结合晶圆在驱动坐标系中的参考图像，可以建立转换矩阵，进而通过计算得到定位需要的补偿值。这样，可以将相机设在晶圆工作空间的上方，通过相机获取晶圆位置，无需在晶圆工作空间内安装光传感器，更加方便晶圆的取放和搬运。此外，通过相机一次采集便可以确认晶圆位置，无需旋转晶圆，节省了单次定位补偿的时间，并且后续可以根据晶圆在相机坐标系中的位置结合转换矩阵实现其他晶圆的定位补偿，进一步缩短了后续晶圆定位补偿的时间，大大提高了工作效率，降低了时间成本。

本发明授权晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位的补偿值测算方法，其特征在于，包括： 控制定位相机对第一待测晶圆进行拍摄，得到第一图像；其中，所述第一待测晶圆包括定位槽； 根据所述第一图像中所述定位槽的位置，建立变位坐标系； 获取待测晶圆在预设的驱动坐标系中的参考图像；其中，所述待测晶圆的定位槽在所述参考图像中位于指定位置； 根据所述第一图像与所述参考图像生成目标转换矩阵；所述目标转换矩阵用于表示所述变位坐标系和所述驱动坐标系之间的坐标转换关系； 根据所述目标转换矩阵计算出所述第一待测晶圆的补偿坐标值；所述补偿坐标值用于控制预设的驱动机构移动所述第一待测晶圆至目标位置； 在根据所述目标转换矩阵计算出所述第一待测晶圆的补偿坐标值之后，还包括： 控制所述定位相机对第二待测晶圆进行拍摄，得到第二图像； 根据预设的算法对所述第二图像进行计算处理，得到所述第二待测晶圆在所述变位坐标系中的附加偏移值； 根据所述附加偏移值和所述补偿坐标值得到第二补偿坐标值；所述第二补偿坐标值用于控制所述驱动机构移动所述第二待测晶圆至所述目标位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州华兴源创科技股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区青丘巷8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。