东京毅力科创株式会社小佐井一树获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置和液处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115769346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180045439.4，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权液处理装置和液处理方法是由小佐井一树;井上大诚;高松祐助;大塚贵久;天井胜;菅野至;矢野洋设计研发完成，并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本液处理装置和液处理方法在说明书摘要公布了：实施方式所涉及的液处理装置具备贮存罐、第一循环线路以及第二循环线路。贮存罐贮存处理液。第一循环线路用于使从贮存罐送出的处理液通过第一过滤器后返回到贮存罐。第二循环线路与第一循环线路连接，第二循环线路用于使处理液通过第二过滤器后返回到贮存罐。第二循环线路的流路的长度比第一循环线路的流路的长度短。向第二循环线路流入的处理液的流量比向第一循环线路的比第一循环线路与第二循环线路的连接部位靠下游侧的位置流入的处理液的流量少。第二过滤器中的每单位时间的过滤量比第一过滤器中的每单位时间的过滤量少。
本发明授权液处理装置和液处理方法在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置，具备： 贮存罐，其贮存处理液； 第一循环线路，其用于使从所述贮存罐送出的所述处理液通过第一过滤器后返回到所述贮存罐；以及 第二循环线路，其与所述第一循环线路连接，用于使所述处理液通过第二过滤器后返回到所述贮存罐， 其中，所述第二循环线路的流路的长度比所述第一循环线路的流路的长度短， 向所述第二循环线路流入的所述处理液的流量比向所述第一循环线路的比所述第一循环线路与所述第二循环线路的连接部位靠下游侧的位置流入的所述处理液的流量少， 所述第二过滤器中的每单位时间的过滤量比所述第一过滤器中的每单位时间的过滤量少， 其中，所述液处理装置还具备： 调整部，其设置于所述第二循环线路，用于调整向所述第二过滤器流入的所述处理液的流量；以及 控制装置，其控制所述调整部， 其中，所述控制装置控制所述调整部，以使作用于所述第二过滤器的所述处理液的压力比作用于所述第一过滤器的所述处理液的压力小。
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