圆益IPS股份有限公司金台东获国家专利权
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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763299B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211075678.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由金台东;李晶桓;丁青焕;卢成镐;金颍俊;琴文哲;朴赞洙;金美淑;金龙基设计研发完成，并于2022-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置，具体而言，涉及一种可在高压和低压之间转换从而执行基板处理的基板处理装置。本发明公开一种基板处理装置，其包括：工艺腔体100，基板支撑部200,内部引线部300，以及内部引线驱动部600；其中上述内部引线部300包括：内部引线310；以及气体供应流路320。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 工艺腔体100，在底面120中心侧形成安装槽130，并形成内部空间；以及 基板支撑部200,内插设置于上述安装槽130，基板1设置于其上面；以及 内部引线部300，在上述内部空间可进行上下移动，在下降时其部分结构与上述安装槽130相邻的底面120紧密接触，将上述内部空间分割成基板支撑部200所在内部的密封的处理空间S2以及余下的空间非处理空间S1；以及 内部引线驱动部600，贯通上述工艺腔体100上部，驱动其上下移动； 其中上述内部引线部300包括：在上述内部空间可进行上下移动的内部引线310；以及在上述内部引线310内部与上述处理空间S2相连通而设置的气体供应流路320, 上述工艺腔体100，包括：气体导入流路190，向与上述内部引线部300相接触的下部面供应从外部导入的工艺气体； 上述内部引线部300通过下降与上述底面120紧密接触，将上述气体导入流路190和上述气体供应流路320相连接，将工艺气体从上述气体供应流路320接收。
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