长鑫存储技术有限公司王毓涵获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利半导体制程的控制方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115639785B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110812635.1，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权半导体制程的控制方法、装置、设备及存储介质是由王毓涵设计研发完成，并于2021-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制程的控制方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本公开提供一种半导体制程的控制方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：解析晶圆批次信息，确定当前产品的当前产品批次；获取设定期内的历史量测数据；在确定所述历史量测数据不包括当前产品批次的第一量测数据的情况下，若根据预设配置信息，确定历史量测数据包括目标产品批次的第二量测数据，则根据预设配置信息以及第二量测数据，确定目标调控数据；根据目标调控数据控制当前产品的生产参数。在本公开中，当历史量测数据不包括当前产品批次的第一量测数据时，可以根据其它产品的第二量测数据来确定目标调控数据，然后根据目标调控数据控制当前产品的生产参数，以提高整个控制方法的智能性，可一定程度提升产能。
本发明授权半导体制程的控制方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程的控制方法，其特征在于，所述方法包括： 解析晶圆批次信息，确定当前产品的当前产品批次； 获取设定期内的历史量测数据； 在确定所述历史量测数据不包括所述当前产品批次的第一量测数据的情况下，若根据预设配置信息，确定所述历史量测数据包括目标产品批次的第二量测数据，则根据所述预设配置信息以及所述第二量测数据，确定目标调控数据； 根据所述目标调控数据控制所述当前产品的生产参数; 所述预设配置信息中，所述当前产品批次对应至少一个参考产品批次， 所述根据预设配置信息，确定所述历史量测数据包括目标产品批次的第二量测数据，包括： 根据所述至少一个参考产品批次中每个参考产品批次的优先级，依次从所述历史量测数据中查找参考产品批次的量测数据； 将查找到的参考产品批次的量测数据，确定为所述目标产品批次的所述第二量测数据。
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