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龙图腾网获悉中冶赛迪工程技术股份有限公司;中冶赛迪技术研究中心有限公司申请的专利基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115605067B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211247676.1，技术领域涉及：H10N10/17；该发明授权基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法是由冯科;杨玉;漆锐;谭庆;邓惠丹;段青松;陈南菲设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法，属于传感器技术领域。传感器主要包括金属基底、粘结层、第一绝缘层、第二绝缘层、第一极传感层、第二极传感层、第三绝缘层、第四绝缘层、导电种子层、保护层和导线。制作步骤为：1在金属基底上沉积粘结层；在粘结层表面上沉积第一绝缘层和第二绝缘层。2制作第一极传感层和第二极传感器。3沉积第三绝缘层和第四绝缘层。4在第四绝缘层表面依次沉积粘结层和导电种子层。5在种子层上沉积保护层，从而形成三明治层状封装结构。本发明适用于1000℃高温环境下的局部多点动态温度检测，较之传统的丝状热电偶，具有尺寸小、响应快、精度高、防护好等显着技术特点。

本发明授权基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法在权利要求书中公布了：1.一种基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器，其特征在于：包括金属基底1、粘结层、第一绝缘层301、第二绝缘层302、第一极传感层501、第二极传感层502、第三绝缘层601、第四绝缘层602、导电种子层8、保护层9、传感器焊盘10和导线11； 所述金属基底1上依次沉积粘结层、第一绝缘层301和第二绝缘层302； 所述第二绝缘层302上依次沉积粘结层和第一极传感层501； 所述第一极传感层501上集成若干温差电偶回路； 所述第一极传感层501上具有连接导线11的传感器焊盘10； 所述第一极传感层501上依次沉积粘结层和第二极传感层502； 所述第二极传感层502上集成若干温差电偶回路； 所述第二极传感层502上具有连接导线11的传感器焊盘10； 所述第二极传感层502上依次沉积粘结层、第三绝缘层601、第四绝缘层602、粘结层和导电种子层8； 所述导电种子层8上沉积保护层9； 所述导线11的一端连接传感器焊盘10。

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