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龙图腾网获悉中冶赛迪工程技术股份有限公司;中冶赛迪技术研究中心有限公司申请的专利一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115589760B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211247445.0，技术领域涉及：H10N10/17；该发明授权一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法是由冯科;王水根;邓惠丹;段青松;陈南菲;漆锐;谭庆;杨玉设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。传感器主要包括金属基底、金属过渡层I、金属粘结层I、绝缘层I、光刻胶、金属传感层、金属过渡层II、金属粘结层II、绝缘层II、金属保护片、金属过渡层III、金属粘结层III和环氧树脂；制作方法为：选取用于传感器沉积的金属基底；通过电镀、旋涂、光刻、磁控溅射等工艺步骤将过渡层、粘结层、绝缘层、传感层和保护层逐层沉积上去，形成典型的三明治层状结构。本发明能有效保障传感器在恶劣工业环境中的使用效果，并有助于大幅提升其使用寿命。

本发明授权一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器，其特征在于：包括金属基底1、金属过渡层I2、金属粘结层I3、绝缘层I4、金属传感层6、金属过渡层II10、金属粘结层II11、绝缘层II12、金属保护片7、金属过渡层III13和环氧树脂15； 所述金属基底1为衬底，表面电镀有金属过渡层I2； 所述金属过渡层I2表面溅射有金属粘结层I3； 所述金属粘结层I3表面涂覆有绝缘层I4； 所述绝缘层I4表面沉积金属传感层6； 所述金属传感层6表面电镀有金属过渡层II10； 所述金属传感层6包括第一极传感回路和第二极传感回路； 所述第一极传感回路包括依次沉积的金属层I601、金属层II602和金属层III603； 所述第二极传感回路沉积在第一极传感回路的表面，包括依次沉积的金属层IV604、金属层V605和金属层VI606； 所述金属过渡层II10表面溅射有金属粘结层II11； 所述金属粘结层II11表面涂覆有绝缘层II12； 所述绝缘层II12的表面粘接金属保护片7； 所述金属保护片7与绝缘层II12相对的下表面处电镀有金属过渡层III13，另一表面涂覆环氧树脂15。

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