华虹半导体(无锡)有限公司许文霞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利对准方法、掩模对准标记组合及掩模版获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115509098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211333509.9，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权对准方法、掩模对准标记组合及掩模版是由许文霞;李峰;居碧玉;陈辉;刘伟林;杨坤设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准方法、掩模对准标记组合及掩模版在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准方法、掩模对准标记组合及掩模版，其中对准方法包括：选取至少三组对准标记；选取任意两组对准标记，按沿X方向放置一组对准标记和沿Y方向放置另一组对准标记的方式进行对位评估；根据对位评估的结果，确定最终的掩模对准标记组合；利用形成有所述掩模对准标记组合的掩模版对晶圆进行曝光。其中，所述掩模对准标记组合包括：X方向上的对准标记和Y方向上的对准标记，所述X方向上的对准标记包括沟槽图形；所述Y方向上的对准标记包括图案化的金属层图形。本申请通过选取掩模对准标记组合，能够快速解决由晶圆翘曲带来的对位问题，提高对准标记抓取的成功率，提高对位的成功率，也不需要涉及到机台软硬件的改造，节省了成本。
本发明授权对准方法、掩模对准标记组合及掩模版在权利要求书中公布了：1.一种对准方法，其特征在于，包括： 选取N组对准标记，其中，N为大于2的整数； 选取任意两组所述对准标记，沿X方向放置第一组对准标记、沿Y方向放置第二组对准标记，进行一次对位评估； 沿X方向放置第二组对准标记、沿Y方向放置第一组对准标记，再进行一次对位评估； 根据对位评估的结果，确定最终的掩模对准标记组合，其中，所述掩模对准标记组合包括：X方向上的对准标记和Y方向上的对准标记，所述X方向上的对准标记包括沟槽图形；所述Y方向上的对准标记包括图案化的金属层图形； 利用形成有所述掩模对准标记组合的掩模版对晶圆进行曝光。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华虹半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励