ASML荷兰有限公司王義向获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115298793B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180022535.7，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统是由王義向;刘士兵;罗映设计研发完成，并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统在说明书摘要公布了：一种静电卡盘控制系统被配置为在晶片的检查过程期间利用，该静电卡盘控制系统包括载物台的静电卡盘，该载物台被配置为在检查过程期间被解除对接，其中静电卡盘包括多个部件，该多个部件被配置为在检查过程期间影响晶片与静电卡盘之间的相互作用；第一传感器，被配置为生成多个部件中的至少一些部件与晶片之间的测量数据；以及控制器，包括电路系统，该电路系统被配置为接收测量数据以确定晶片相对于静电卡盘的特性并且生成调整数据以使得能够在载物台被解除对接的同时基于所确定的特性来调整多个部件中的至少一些部件。
本发明授权检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统在权利要求书中公布了：1.一种被配置为在晶片的检查过程期间利用的静电卡盘控制系统，所述静电卡盘控制系统包括： 载物台的静电卡盘，所述载物台被配置为在所述检查过程期间被解除对接，其中所述静电卡盘包括多个部件，所述多个部件被配置为在所述检查过程期间影响所述晶片与所述静电卡盘之间的相互作用，并且其中所述载物台被配置为在所述检查过程期间在所述载物台被解除对接之后移动到预定位置； 第一传感器，被配置为生成所述多个部件中的至少一些部件与所述晶片之间的测量数据；以及 控制器，包括电路系统，所述电路系统被配置为接收所述测量数据以确定所述晶片相对于所述静电卡盘的特性并且生成调整数据，以使得能够在所述载物台被解除对接的同时基于所确定的特性来调整所述多个部件中的至少一些部件。
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