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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115221809B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210771331.X，技术领域涉及：G06F30/28；该发明授权半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统是由李轩;宁腾飞设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统，半导体废气处理设备的温度仿真方法包括：简化半导体废气处理设备模型，获取流体经过区域的计算域；将计算域进行网格划分；建立半导体废气处理设备的运行参数的边界条件；根据计算流体动力学原理和边界条件，获得半导体废气处理设备的温度仿真参数。通过仿真计算得到半导体废气处理设备内整体的温度分布情况，并且识别关键位置的温度值，以及整体温度的最大值最小值，使半导体废气处理设备的温度全场化和可视化。

本发明授权半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种温控方法，其特征在于：用于温控系统，所述温控系统包括温度采集模块、主控模块、温度调节模块和温度仿真系统，所述温度采集模块用于采集半导体废气处理设备的温度，并发送温度数据至所述温度仿真系统，所述温度仿真系统用于接收所述温度数据并处理成温度仿真参数发送至所述主控模块，所述主控模块接收所述温度仿真参数并处理成温度调节指令发送至所述温度调节模块，所述温度调节模块可用于调节所述半导体废气处理设备的温度，所述温控方法包括： 获取半导体废气处理设备的温度数据； 根据温度数据获得温度仿真参数； 根据温度仿真参数获得温度调节指令； 根据温度调节指令，调节半导体废气处理设备的温度； 所述根据温度仿真参数获得温度调节指令的步骤包括： 确定气体反应区域温度小于反应区域温度目标值，增大反应气体与助燃气体的加热量； 确定反应腔出口区域温度大于反应腔出口区域目标值，增大反应腔冷却水流量； 确定排气出口区域温度大于排气出口区域目标值，确定识别气体处理装置温度值大于气体处理装置目标值，增大气体处理装置的冷却水流量； 所述温度仿真系统用于执行温度仿真方法，所述温度仿真方法包括： 简化半导体废气处理设备模型，获取流体经过区域的计算域； 将计算域进行网格划分； 建立半导体废气处理设备的运行参数的边界条件； 根据计算流体动力学原理和边界条件，获得半导体废气处理设备的温度仿真参数。

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