长鑫存储技术有限公司张伟获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种半导体生产调度方法、系统及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115185240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210725662.X，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权一种半导体生产调度方法、系统及设备是由张伟;邱世清;黄士奇;黄进昌;王俊凌;吴雨祥设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产调度方法、系统及设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体生产调度方法、系统及设备，所述方法包括确定运行晶圆组中最小插槽编号；根据所述运行晶圆组中最小插槽编号，从最小插槽编号对应的晶圆卡盘开始，对运行晶圆组中的每一片晶圆所对应的插槽重新排序；运行重新排序后的晶圆组。本申请通过机台控制系统和机台自动化控制程序系统，动态调整每一片晶圆卡盘的优先使用路径，进而精准的控制每一片晶圆的卡盘，最终实现智能抽片逻辑，能够有效的减少晶圆组错失运行卡盘的风险，提升产品精度的性能；同时有效提升产能，降低生产成本，提升产品的效率，增大利润。
本发明授权一种半导体生产调度方法、系统及设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产调度方法，其特征在于，所述方法包括: 确定运行晶圆组中最小插槽编号，所述晶圆组中每片晶圆有对应的卡盘值； 根据所述运行晶圆组中最小插槽编号，从最小插槽编号对应的晶圆卡盘开始，对运行晶圆组中的每一片晶圆所对应的插槽重新排序，所述对运行晶圆组中的每一片晶圆所对应的插槽重新排序具体包括：在卡盘空闲之后，从运行晶圆组中最小插槽编号开始，对运行晶圆组中的每一片晶圆所对应的插槽通过希尔排序进行动态排序； 运行重新排序后的晶圆组。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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