应用材料公司潘尧令获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于等离子体腔室条件监测的电容感测数据集成获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180016547.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体腔室条件监测的电容感测数据集成是由潘尧令;P·J·唐;M·D·威尔沃斯;L·泰德斯奇;K-S·N·尚;M·V·塔拉布钦;C·R·哈迪;S·纳加拉贾设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体腔室条件监测的电容感测数据集成在说明书摘要公布了：描述了用于等离子体腔室条件监测的电容传感器和电容感测数据集成。在示例中，等离子体腔室监测系统包括：多个电容传感器；电容数字转换器；以及应用处理服务器，所述应用处理服务器耦合至所述电容数字转换器，所述应用处理服务器包括系统软件。所述电容数字转换器包括：绝缘接口，所述绝缘接口耦合至所述多个电容传感器；电源，所述电源耦合至所述绝缘接口；现场可编程门阵列固件，所述现场可编程门阵列固件耦合至所述绝缘接口；以及专用集成电路，所述专用集成电路耦合至所述现场可编程门阵列固件。
本发明授权用于等离子体腔室条件监测的电容感测数据集成在权利要求书中公布了：1.一种等离子体腔室监测系统，包括： 多个电容传感器； 电容数字转换器，包括： 绝缘接口，所述绝缘接口耦合至所述多个电容传感器； 电源，所述电源耦合至所述绝缘接口； 现场可编程门阵列固件，所述现场可编程门阵列固件耦合至所述绝缘接口；以及 专用集成电路，所述专用集成电路耦合至所述现场可编程门阵列固件；以及 应用处理服务器，所述应用处理服务器耦合至所述电容数字转换器，所述应用处理服务器包括系统软件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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