中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司金炳喆获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115050665B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110254801.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权检测系统是由金炳喆;曲扬设计研发完成，并于2021-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测系统在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种检测系统。本申请的检测系统包括载片台、镜头、检测器、控制器和反馈器，载片台用于承载待检测件，镜头设于载片台的上方并朝向载片台设置，镜头与载片台间能够沿轴向和或径向方向相对运动，检测器设于镜头朝向载片台移动方向的端部，检测器用于检测待检测件上的颗粒的轴向尺寸，并根据检测结果发出错误检测信号，控制器与载片台、镜头和检测器分别电连接，控制器用于控制载片台、镜头和检测器分别运行，反馈器用于接收错误检测信号并发送反馈信号至控制器，控制器根据反馈信号控制载片台和镜头停止运行。根据本申请的检测系统，能够进行实时的监控，预防事故的发生，保证检测结果的准确性。
本发明授权检测系统在权利要求书中公布了：1.一种检测系统，其特征在于，包括： 载片台，所述载片台用于承载待检测件； 镜头，所述镜头设于所述载片台的上方并朝向所述载片台设置，所述镜头与所述载片台间能够沿轴向和或径向方向相对运动； 检测器，所述检测器设于所述镜头朝向所述载片台移动方向的端部，所述检测器环形设置，所述检测器与所述载片台间的轴向间距尺寸小于等于所述镜头与所述载片台间的轴向间距尺寸，所述检测器用于检测所述待检测件上的颗粒的轴向尺寸，当所述检测器检测出所述待检测件上的颗粒的轴向尺寸大于等于所述镜头与所述待检测件间的最小轴向间距尺寸时，所述检测器发出错误检测信号； 控制器，所述控制器与所述载片台、所述镜头和所述检测器分别电连接，所述控制器用于控制所述载片台、所述镜头和所述检测器分别运行； 反馈器，所述反馈器用于接收所述错误检测信号并发送反馈信号至所述控制器，所述控制器根据所述反馈信号控制所述载片台和所述镜头停止运行。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司，其通讯地址为：100029 北京市朝阳区北土城西路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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