长鑫存储技术有限公司李培生获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利光罩护膜的清洁装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115016232B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210859671.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光罩护膜的清洁装置与方法是由李培生设计研发完成，并于2022-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩护膜的清洁装置与方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种光罩护膜的清洁装置与方法，光罩护膜的清洁装置包括出风模组、移动机构、以及控制器。出风模组设有依次间隔设置的多个出风孔。出风孔用于朝向光罩护膜出风，出风孔的出风方向与光罩护膜呈夹角设置，将出风孔按照出风方向与光罩护膜相交的位置定义为对位区。移动机构用于驱动光罩或出风模组移动，以使得对位区依次从光罩护膜的第一侧边移动至光罩护膜上与第一侧边相对的第二侧边。这样在易于产生形变的光罩护膜第一中部位置采用相对较小的风压吹扫清洁处理，避免由于光罩护膜中部部位易于产生形变的问题而导致护膜破损的不良现象，此外，在光罩护膜的其它区域则相对较大的风压吹扫清洁处理，从而同时能保证对光罩护膜的清洁效果。
本发明授权光罩护膜的清洁装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种光罩护膜的清洁装置，其特征在于，所述光罩护膜的清洁装置包括： 出风模组，所述出风模组设有依次间隔设置的多个出风孔，所述出风孔用于朝向光罩护膜出风，所述出风孔的出风方向与所述光罩护膜呈夹角设置，将所述出风孔按照所述出风方向与所述光罩护膜相交的位置定义为对位区； 移动机构，所述移动机构用于驱动所述光罩或所述出风模组移动，以使得所述对位区依次从所述光罩护膜的第一侧边移动至所述光罩护膜上与所述第一侧边相对的第二侧边；以及 控制器，所述控制器与所述出风模组电性连接，所述控制器用于调整所述出风模组的风压大小，以使得在所述对位区从所述第一侧边移动至所述光罩护膜的第一中部位置过程中，所述出风模组的风压大小呈减小趋势，以及使得在所述对位区从所述所述光罩护膜的第一中部位置移动至所述第二侧边过程中，所述出风模组的风压大小呈增大趋势。
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