佳能株式会社栗原孝史获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利控制装置、定位装置、光刻装置、以及物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114967358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210170269.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权控制装置、定位装置、光刻装置、以及物品制造方法是由栗原孝史设计研发完成，并于2022-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制装置、定位装置、光刻装置、以及物品制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了控制装置、定位装置、光刻装置、以及物品制造方法。用于对控制对象进行控制的控制装置包括：测量设备，所述测量设备被配置为测量所述控制对象的状态；以及控制器，所述控制器被配置为生成与所述测量设备的输出和目标值对应的操纵量。所述控制器包括补偿器和转换器，所述补偿器被配置为输出与所述测量设备的输出和所述目标值对应的索引，所述转换器被配置为将所述索引转换成操纵量使得生成预定的操纵量的概率为目标概率。
本发明授权控制装置、定位装置、光刻装置、以及物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种用于对控制对象进行控制的控制装置，包括： 测量设备，所述测量设备被配置为测量所述控制对象的状态；以及 控制器，所述控制器被配置为生成与所述测量设备的输出和目标值对应的操纵量， 其中，所述控制器包括补偿器和转换器，所述补偿器被配置为输出与所述测量设备的输出和所述目标值对应的索引，所述转换器被配置为将所述索引转换成操纵量使得生成预定的操纵量的概率为目标概率，并且 其中，当操纵量被绘制在横坐标上并且概率被绘制在纵坐标上时，所述目标概率的分布具有在操纵量的最小值和最大值之间的整个区域中向上凸出的形状。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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