东京毅力科创株式会社若松孝彬获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114946013B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008697.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由若松孝彬设计研发完成，并于2021-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：一种基板处理装置，其对基板进行处理，其中，该基板处理装置具有：基板输送机构，其保持所述基板的一面并进行输送；以及清洗机构，其设于所述基板输送机构输送所述基板的输送路径的下方，对所述基板的另一面进行清洗，所述清洗机构具有：吸水性辊，其构成为利用驱动机构旋转自如，至少在周面的表层具备吸水层；清洗液喷嘴，其向所述吸水性辊供给清洗液；以及挤压辊，其在所述吸水性辊的旋转方向上设于比所述清洗液喷嘴靠下游侧的位置，构成为相对于所述吸水性辊在接近远离方向上移动自如，通过使所述吸水性辊与所述基板的另一面接触，从而对所述基板的另一面进行清洗。
本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其对基板进行处理，其中， 该基板处理装置具有： 基板输送机构，其保持所述基板的一面并进行输送；以及 清洗机构，其设于所述基板输送机构输送所述基板的输送路径的下方，对所述基板的另一面进行清洗， 所述清洗机构具有： 吸水性辊，其构成为利用驱动机构旋转自如，至少在周面的表层具备吸水层； 清洗液喷嘴，其向所述吸水性辊供给清洗液；以及 挤压辊，其在所述吸水性辊的旋转方向上设于比所述清洗液喷嘴靠下游侧的位置，构成为相对于所述吸水性辊在接近远离方向上移动自如， 在利用所述清洗机构对所述基板的另一面进行清洗时，将所述挤压辊向被供给了清洗液的所述吸水性辊按压，而使所述吸水性辊的吸水量降低，使吸水量降低了的所述吸水性辊与所述基板的另一面接触，由此对所述基板的另一面进行清洗。
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