北方夜视技术股份有限公司汪云获国家专利权
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龙图腾网获悉北方夜视技术股份有限公司申请的专利一种微纳光栅衍射角测量系统及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114858419B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210538495.8,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种微纳光栅衍射角测量系统及测量方法是由汪云;郭欣达;龚燕妮;万春山;赵恒;苏天宁;张世超;母其飞;徐鳕娇;者宗山;李建民设计研发完成,并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微纳光栅衍射角测量系统及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微纳光栅的衍射角测量系统及测量方法,包括:多频激光器模块,光栅夹具模块,光束缩束模块,光斑探测模块,光斑成像分析模块,电控平移台模块。本方法通过对激光器的出射光波长控制,激发出不同光束下的衍射光斑;通过光束缩束模块缩束,再将经过缩束的光束传到光斑探测器模块进行衍射角的测量,解决了衍射角太大,探测器探测面积无法覆盖全部衍射光斑的问题。总的来说,通过本装置及方法能够实现不同入射波长下微纳光栅的衍射角的直接测量读取,相比于传统测量方式,具有操作简单,测量精度高,测量角度范围大等优势,还能对衍射光斑的相对能量分布,光斑形状,光斑间的相对位置等信息进行成像记录。
本发明授权一种微纳光栅衍射角测量系统及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种微纳光栅的衍射角测量系统,其特征在于,包括多频激光器模块1、光栅夹具模块2、光束缩束模块3、光斑探测模块4、光斑成像分析模块5、电控平移台7; 沿所述的多频激光器模块1的光出射方向共光轴依次设置有光栅夹具模块2、光束缩束模块3和光斑探测模块4;所述多频激光器模块1、光栅夹具模块2、光束缩束模块3、光斑探测模块4置于电控平移台7上;所述电控平移台7通过光斑成像分析模块5可以对所述多频激光器模块1、光栅夹具模块2、光束缩束模块3、光斑探测模块4间的距离进行控制;所述的光束缩束模块3与光栅夹具模块2之间的距离根据微纳光栅的衍射角大小进行调整并使得所有衍射光斑皆能同时在光束缩束模块3的感光面上成像;所述的光斑探测模块4置于光束缩束模块3后方,光斑探测模块4与光束缩束模块3之间的距离根据缩束后光斑的面积进行调整并使得所有缩束后的衍射光斑皆能同时在光斑探测模块4的感光面上成像; 所述光斑成像分析模块5能够得到光斑探测模块4探测到的光斑的相对能量分布、光斑形状及一级衍射光斑到零级主光斑的距离和光束缩束模块到光栅间的距离;通过光斑成像分析模块5能够计算得到衍射角,式中L为一级衍射光斑到零级主光斑的距离,d为光斑探测模块4到光束缩束模块3间的距离。
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