筏渡(上海)科技有限公司夏敏获国家专利权
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龙图腾网获悉筏渡(上海)科技有限公司申请的专利一种知识图谱的更新方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114637864B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210343925.0,技术领域涉及:G06F16/36;该发明授权一种知识图谱的更新方法及装置是由夏敏;张涛;李云健;易丛文;徐文丞设计研发完成,并于2022-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种知识图谱的更新方法及装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种知识图谱的更新方法,包括:获取静态知识图谱,静态知识图谱基于目标数据构建,目标数据包括,半导体制造过程中产生的历史数据;基于当前数据构建动态知识图谱,当前数据为当前预设时间段内半导体制造过程中产生数据;基于动态知识图谱,更新静态知识图谱。本发明提供的知识图谱的更新方法,利用对后续半导体制造过程中产生的数据分析产生的知识,例如缺陷发现以及根因,对静态知识图谱进行不断的更新补全,保证了知识图谱的知识全面性。
本发明授权一种知识图谱的更新方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种知识图谱的更新方法,其特征在于,包括: 获取静态知识图谱,所述静态知识图谱基于目标数据构建,所述目标数据包括半导体制造过程中产生的历史数据;所述历史数据包括结构化数据、半结构化数据和非结构化数据中的一种或多种;其中,所述结构化数据包括半导体制造设备相关的数据,和或晶圆相关的数据;所述半结构化数据包括工程师对所述结构化数据分析产生的经验文档;所述非结构化数据为所述半导体制造设备相关的文档,包括所述半导体制造设备的使用说明信息、故障信息以及所述故障信息对应的修复信息中的一种或多种;所述静态知识图谱包括多个第一节点,和连接所述多个第一节点的多条第一边,所述第一节点表示所述目标数据中涉及的与所述半导体制造相关的第一实体,所述第一边表示所述多个第一节点之间的关联关系;所述半导体制造为晶圆制造;所述第一实体包括晶圆的制造设备、所述晶圆的缺陷和所述晶圆的缺陷对应的根因中的至少两项; 基于当前数据构建动态知识图谱,所述当前数据为当前预设时间段内所述半导体制造过程中产生的数据;所述当前数据包括根据当前生产周期晶圆制造设备产生的统计过程控制SPC数据得到的描述文本,和工程师对SPC数据分析得出的业务数据,所述业务数据包括晶圆的批次、晶圆的生产步骤、晶圆上的失效类别、晶圆的缺陷检测层、晶圆的异常事件、晶圆的缺陷、以及缺陷对应的根因;所述动态知识图谱包括多个第二节点,和连接所述多个第二节点的多条第二边,所述第二节点表示所述当前数据中涉及的与所述半导体制造相关的第二实体,所述第二边表示所述多个第二节点之间的关联关系;所述动态知识图谱包括多个,晶圆的每个生产周期对应一个动态知识图谱;所述第二实体包括所述晶圆的制造设备、所述晶圆的缺陷和所述晶圆的缺陷对应的根因、所述晶圆的批次、所述晶圆的生产步骤、所述晶圆的生产步骤对应的操作、所述晶圆上的失效类别、所述晶圆的缺陷检测层、所述晶圆的异常事件和所述晶圆的异常事件对应的根因中的至少两项; 基于所述动态知识图谱,更新所述静态知识图谱; 所述基于所述动态知识图谱,更新所述静态知识图谱,包括: 将出现次数大于预设次数的,与所述第一节点不同的第二节点以及与所述第一边不同的第二边,补充至所述静态知识图谱中。
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