株式会社荏原制作所加藤裕一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利研磨头及研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114434316B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111281272.X，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权研磨头及研磨装置是由加藤裕一;锅谷治设计研发完成，并于2021-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨头及研磨装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种在通过弹性膜形成的压力室内形成负压时能够防止弹性膜的两侧壁彼此的接触的研磨头。研磨头7具备：用于将工件W按压于研磨垫2的第一弹性膜41；配置为包围第一弹性膜41的挡环33；用于将挡环33按压于研磨垫2的第二弹性膜50；固定有第一弹性膜41的载体35；以及配置于通过第二弹性膜50形成的压力室58内，且将第二弹性膜50固定于载体35的安装部件53。安装部件53具有沿着第二弹性膜50的侧壁50A、50B朝向挡环33延伸的支撑部54A、54B。
本发明授权研磨头及研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨头，用于将工件按压于研磨垫而研磨该工件，其特征在于，具备： 第一弹性膜，该第一弹性膜用于将所述工件按压于所述研磨垫； 挡环，该挡环配置为包围所述第一弹性膜； 第二弹性膜，该第二弹性膜形成用于将所述挡环按压于所述研磨垫的压力室； 载体，所述第一弹性膜固定于该载体； 安装部件，该安装部件配置于所述压力室内，且将所述第二弹性膜固定于所述载体；以及 连结部件，该连结部件将所述第二弹性膜连结于所述挡环， 所述第二弹性膜具有： 底壁，该底壁与所述连结部件连接；以及 第一侧壁和第二侧壁，该第一侧壁和该第二侧壁与所述底壁连接， 所述安装部件具有第一支撑部和第二支撑部，该第一支撑部和该第二支撑部分别沿着所述第一侧壁和所述第二侧壁朝向所述挡环延伸，所述第一支撑部和所述第二支撑部配置于所述压力室内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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