爱德华兹有限公司M·C·格雷厄姆获国家专利权
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龙图腾网获悉爱德华兹有限公司申请的专利优化消减装置中的操作条件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114402166B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067277.X，技术领域涉及：F23G7/06；该发明授权优化消减装置中的操作条件是由M·C·格雷厄姆;A·J·西利;D·M·普赖斯设计研发完成，并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本优化消减装置中的操作条件在说明书摘要公布了：公开了一种优化消减装置中操作条件的方法和消减装置，所述消减装置被构造成对来自处理工具的排出物流进行处理。优化消减装置中的操作条件的方法，所述消减装置被构造成对来自处理工具的含有PFC的排出物流进行处理，所述方法包括：改变控制所述消减装置的操作条件的操作参数；确定存在于所述消减装置的排出物流中的PFC浓度的变化；以及基于PFC浓度的变化来确定是否保留操作参数。这样，排出物中存在的PFC的浓度可用于确定消减装置是否在正确的操作条件下操作。
本发明授权优化消减装置中的操作条件在权利要求书中公布了：1.一种优化消减装置中的操作条件的方法，所述消减装置被构造成处理来自处理工具的含有PFC的排出物流，所述方法包括： a将氧气注入入口流量设置为初始流率设置； b确定所述消减装置的排出物流中存在的初始PFC浓度； c将氧气注入入口流量增加ΔF； d确定所述排出物流中存在的结果PFC浓度； e如果结果PFC浓度大于初始PFC浓度，则将氧气注入入口流量减少一百分比量，然后返回步骤a； f如果结果PFC浓度小于初始PFC浓度且大于目标浓度，则返回步骤c； g如果结果PFC浓度小于初始PFC浓度且小于目标浓度，则将氧气注入入口流量减少ΔF且返回步骤d；以及 h如果结果PFC浓度小于初始PFC浓度且等于目标浓度，则保持氧气注入入口流量不变。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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