盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司罗正勇获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114393547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210052618.7，技术领域涉及：B25B27/14；该发明授权一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置是由罗正勇;金補哲设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构。本发明设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。
本发明授权一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述溅射靶材安装定位装置包括底座1、升降机构2、靶材提放螺栓3和靶材定位插销4，所述底座1的拐角处均匀安装有四组滚轮5，所述升降机构2内置底座1的内部且由驱动电机6、皮带7、丝杠8、滑块9和升降杆10组成，所述驱动电机6垂直安装于底座1上且动力输出端通过皮带7与丝杠8相连接，所述丝杠8垂直安装于底座1内且底端与底座1转动连接，所述滑块9螺纹穿插于丝杠8上且外端与升降杆10相连接，所述升降杆10的下端固定于底座1上且外端连接有交叉式支撑机构11，所述交叉式支撑机构11的下端连接有两组支架12，所述靶材提放螺栓3分设有若干组且螺纹固定于支架12上，若干组所述靶材提放螺栓3的下端螺纹连接有靶材本体13，所述靶材定位插销4分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构11上。
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