武汉衍熙微器件有限公司林瑞钦获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉衍熙微器件有限公司申请的专利体声波谐振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114172483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111521017.8，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权体声波谐振器是由林瑞钦设计研发完成，并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本体声波谐振器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极；所述压电层包括中心区，所述中心区的中心轴与所述压电层的谐振区的中心轴重合；所述压电层中设有至少一个环绕所述中心区设置的空腔，所述空腔的侧壁相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。本发明能够将侧向波转变为纵向波，以提高纵向波能量。
本发明授权体声波谐振器在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极； 所述压电层包括中心区，所述中心区的中心轴与所述压电层的谐振区的中心轴重合；所述压电层中设有至少一个环绕所述中心区设置的空腔，所述空腔的侧壁相互平行且相对于所述衬底的上表面呈倾斜状； 所述压电层还包括环绕所述中心区设置的调整区，所述空腔位于所述调整区内，所述调整区与所述中心区的声阻抗不同，且所述调整区与所述中心区的第一交界面相对于所述衬底的上表面呈倾斜状； 所述调整区包括多个环绕所述中心区设置的分区，至少一个所述分区中具有所述空腔，所述中心区与其相邻的分区的声阻抗不同，任意相邻两个所述分区的声阻抗不同，所述空腔与其所在分区的声阻抗不同，且任意相邻两个所述分区的第二交界面相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。
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