佳能株式会社佐野久获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113867102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110716757.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法是由佐野久;神谷重雄;是永伸茂设计研发完成，并于2021-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供载置台装置，用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对基板进行曝光的扫描型的曝光装置，在扫描方向上扫描基板，其特征在于，具有：载置台，保持并移动基板；第一单元，包括第一电磁铁，且将由第一电磁铁产生的力作为使载置台在扫描方向上加速的力而施加于载置台；第二单元，包括第二电磁铁，且将由第二电磁铁产生的力作为使载置台在与扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于载置台；以及移动部，使设置有第一单元以及第二单元的构造体移动，将第二电磁铁的铁芯投影到以与扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积比将第一电磁铁的铁芯投影到以扫描方向为法线的平面上而得到的投影面积大。
本发明授权载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种载置台装置， 所述载置台装置用于对基板进行扫描曝光的曝光装置， 其特征在于， 所述载置台装置具有： 载置台，保持并移动所述基板； 第一单元，包括产生用于使所述载置台在扫描方向上加速的力的第一电磁铁； 第二单元，包括产生用于使所述载置台在与所述扫描方向交叉的交叉方向上加速的力的第二电磁铁；以及 移动部，使设置有所述第一单元以及所述第二单元的构造体移动， 以所述交叉方向为法线的平面上的所述第二电磁铁的铁芯的面积比以所述扫描方向为法线的平面上的所述第一电磁铁的铁芯的面积大。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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