FEI 公司J·J·弗拉纳根获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于晶带轴自动对准的方法和系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113125478B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011586858.2,技术领域涉及:G01N23/20008;该发明授权用于晶带轴自动对准的方法和系统是由J·J·弗拉纳根;N·库尔茨;A·蒂尔森;P·帕克设计研发完成,并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶带轴自动对准的方法和系统在说明书摘要公布了:用于晶带轴自动对准的方法和系统。基于样品的衍射图样实现所述样品的晶带轴与带电粒子束的自动对准。使用训练后的网络分割对应于劳厄圆的区域。通过利用基于所分割区域确定的晶带轴倾斜来倾斜所述样品而使所述样品与所述带电粒子束对准。
本发明授权用于晶带轴自动对准的方法和系统在权利要求书中公布了:1.一种用于晶带轴对准的方法,其包括: 将带电粒子束引向样品; 获取所述样品的衍射图样; 获取包含多个衍射图样的衍射图样倾斜序列; 通过在所述衍射图样倾斜序列的每个衍射图样中注释直射束和劳厄圆来注释所述衍射图样倾斜序列; 使用所获取的衍射图样倾斜序列和注释的衍射图样倾斜序列来训练网络; 使用训练后的网络,分割所述衍射图样的对应于劳厄圆的第一区域并且分割所述衍射图样的对应于直射束的第二区域;以及 基于所述第一区域和所述第二区域的相对位置来确定晶带轴倾斜。
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