松下电器产业株式会社森勇介获国家专利权
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龙图腾网获悉松下电器产业株式会社申请的专利III族氮化物基板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112635543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011005460.5,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权III族氮化物基板是由森勇介;吉村政志;今西正幸;北本启;泷野淳一;隅智亮;冈山芳央设计研发完成,并于2020-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本III族氮化物基板在说明书摘要公布了:本发明提供一种在实现高载流子浓度的同时、位错低且电阻低的III族氮化物基板。III族氮化物基板在经过研磨的面内,具有显示第1杂质浓度的第1区域和显示低于第1杂质浓度的第2杂质浓度的第2区域,第1区域的第1位错密度低于第2区域的第2位错密度。
本发明授权III族氮化物基板在权利要求书中公布了:1.一种III族氮化物基板, 在经过研磨的面内,具有含有第1杂质浓度的氧的第1区域和含有低于所述第1杂质浓度的第2杂质浓度的氧的第2区域, 所述第1区域的第1位错密度低于所述第2区域的第2位错密度, 将所述第1区域配置为以所述第2区域为中心地包围所述第2区域的周围。
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