长鑫存储技术有限公司罗肖飞获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110927545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811095324.2，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用是由罗肖飞设计研发完成，并于2018-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用，其中，检测设备包括晶圆背面检测装置、边缘区域吸盘及中心区域吸盘；晶圆背面检测装置位于晶圆背面下方与晶圆平行设置；边缘区域吸盘用于吸附晶圆背面边缘区域，并显露晶圆背面中心区域；中心区域吸盘用于吸附晶圆背面中心区域，且中心区域吸盘的水平截面不大于晶圆背面中心区域。晶圆背面的检测方法通过边缘区域吸盘、中心区域吸盘分别吸附晶圆背面的边缘区域及中心区域，并通过晶圆背面检测装置检测晶圆背面边缘区域及中心区域的形貌。可获得晶圆背面的具体形貌，准确的判断晶圆背面的杂质的位置及大小，降低生产成本、提高生产效率、节约人力资源及提高产品质量。
本发明授权一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面的检测方法，其特征在于， 包括以下步骤： 提供晶圆及检测设备；其中，所述晶圆包括晶圆背面中心区域以及包围所述晶圆背面中心区域的晶圆背面边缘区域，所述检测设备包括晶圆背面检测装置、边缘区域吸盘及中心区域吸盘；所述晶圆背面检测装置位于所述晶圆背面下方与所述晶圆平行设置；所述边缘区域吸盘用于吸附所述晶圆背面边缘区域，并显露所述晶圆背面中心区域；所述中心区域吸盘用于吸附所述晶圆背面中心区域，且所述中心区域吸盘的水平截面不大于所述晶圆背面中心区域； 通过所述检测设备检测所述晶圆背面的形貌；包括：通过所述边缘区域吸盘吸附所述晶圆背面边缘区域，并通过所述晶圆背面检测装置检测所述晶圆中心区域的形貌；以及通过所述中心区域吸盘吸附所述晶圆背面中心区域，并通过所述晶圆背面检测装置检测所述晶圆背面边缘区域的形貌。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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