上海赛瑾精密科技有限公司赵建光获国家专利权
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龙图腾网获悉上海赛瑾精密科技有限公司申请的专利一种兼容多尺寸晶圆载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520749044.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种兼容多尺寸晶圆载台是由赵建光;唐小玲;席晓明设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容多尺寸晶圆载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种兼容多尺寸晶圆载台，包括晶圆载台，所述晶圆载台的内部均匀的设置有若干吸附管道，所述吸附管道上与所述晶圆载台之间设置有吸附管，所述吸附管道上连接有控制阀管，所述控制阀管的底部上设置有连接管，所述吸附管道上均匀的连接有若干延伸气管，所述延伸气管的端部上与所述晶圆载台之间设置有伸缩柱。本实用新型通过吸附管道和吸附管等部件的配合使用，可以便捷的对不同尺寸的晶圆进行固定，无需定制不同尺寸的载台，提高了固定的便捷性。
本实用新型一种兼容多尺寸晶圆载台在权利要求书中公布了：1.一种兼容多尺寸晶圆载台，其特征在于：包括晶圆载台3，所述晶圆载台3的内部均匀的设置有若干吸附管道7，所述吸附管道7上与所述晶圆载台3之间设置有吸附管4，所述吸附管道7上连接有控制阀管6，所述控制阀管6的底部上设置有连接管8，所述吸附管道7上均匀的连接有若干延伸气管9，所述延伸气管9的端部上与所述晶圆载台3之间设置有伸缩柱5。
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