昆山麦普恩精密组件有限公司盛泽奎获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山麦普恩精密组件有限公司申请的专利一种半导体真空设备加热元件组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224037521U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520644118.1,技术领域涉及:H05B3/02;该实用新型一种半导体真空设备加热元件组件是由盛泽奎;高龙龙设计研发完成,并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体真空设备加热元件组件在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体真空设备加热元件组件,涉及半导体真空设备技术领域。本实用新型,包括绝缘壳,所述绝缘壳的内部固定安装有保护组件,保护组件的内部设置有加热元件主体。本实用新型,通过加热管采用高电阻率的钨丝,通电后能够产生大量热量,作为热源,导热层采用高导热性的石墨材料,能够迅速将加热管产生的热量传导出去,减少热量在局部的积聚,均温层采用具有良好热传导和热扩散性能的铜材料,能够进一步均匀热量分布,确保加热元件表面温度均匀一致,避免因温度不均导致的半导体材料受热不均,提高产品质量,温度传感器嵌入安装槽中,能够准确感知加热元件主体的温度变化,实现精确的温度监测和控制。
本实用新型一种半导体真空设备加热元件组件在权利要求书中公布了:1.一种半导体真空设备加热元件组件,其特征在于,包括绝缘壳1,所述绝缘壳1的内部固定安装有保护组件2,保护组件2的内部设置有加热元件主体3,所述加热元件主体3内设置有温度传感器4,以对加热温度进行实时检测,所述绝缘壳1的底面固定安装有固定组件5。
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