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北京凯德石英股份有限公司张忠恕获国家专利权

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龙图腾网获悉北京凯德石英股份有限公司申请的专利一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116313950B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310286485.4,技术领域涉及:H10P72/10;该发明授权一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟是由张忠恕;陈强;张娟;周洁;冯继瑶;于洋;边占宁;王志刚;张连兴;赵晓亮;李翔星;卢亮设计研发完成,并于2023-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟在说明书摘要公布了:本申请涉及一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟,属于半导体设备制备的技术领域,石英舟成型方法包括加工槽棒并确定槽棒尺寸:确定顶板、底板尺寸并对顶板和底板进行铣面处理;安装槽棒、底板和顶板,包括安装设备,所述安装设备包括支撑板,所述支撑板上设有定位槽棒的定位组件,所述支撑板上一端设有安装顶板的安装组件,另一端设有安装底板的运输组件,所述安装组件和所述运输组件之间设有驱动两者同时移动的驱动组件;将顶板、槽棒和底板相互固定,形成石英舟。本申请具有快速定位并安装槽棒,提高工作效率的效果。

本发明授权一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟在权利要求书中公布了:1.一种石英舟成型方法,其特征在于:包括如下步骤: S1、对槽棒12进行加工并确定槽棒12尺寸; S2、确定顶板1、底板11尺寸并对顶板1和底板11进行铣面处理; S3、通过槽棒12将顶板1和底板11相互连接,包括用于安装顶板1、底板11和槽棒12的安装设备,所述安装设备包括支撑板2,所述支撑板2上侧设有用于定位槽棒12的定位组件3,所述支撑板2上侧的一端设有安装顶板1的安装组件4,且所述支撑板2远离所述安装组件4的一端设有运输底板11的运输组件5,所述安装组件4包括与所述支撑板2滑动连接的移动座41,顶板1与所述移动座41可拆卸连接,所述运输组件5包括与所述移动座41结构相同的运输座51,所述移动座41与所述运输座51之间设有驱动两者同时移动的驱动组件6; S4、分别将顶板1与槽棒12的连接处和底板11与槽棒12的连接处固定,形成石英舟; 所述定位组件3包括设置在所述支撑板2上并沿所述支撑板2的长度方向设置的定位座31,所述定位座31上开设有多个与槽棒12相对应并沿所述定位座31的长度方向设置的定位孔311,所述定位孔311在所述定位座31上的位置与槽棒12安装在支撑板2上的位置相对应,位于中部的所述定位孔311两端均设有固定槽棒12的卡接件37,其余所述定位孔311两端设有固定槽棒12的固定件36,所述定位座31两端均设有转动杆32,所述转动杆32远离所述定位座31的一端与所述支撑板2固定连接,所述转动杆32靠近所述定位座31的一端均穿设并转动连接有同一转动轴33,所述转动轴33穿过所述定位座31并与所述定位座31固定连接,且所述转动轴33一端安装有定位电机34; 槽棒12设置为三个,其中两个槽棒12相对设置,另一槽棒12位于两个相对的槽棒12之间的连线的中心线上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京凯德石英股份有限公司,其通讯地址为:101149 北京市通州区漷县镇工业开发区漷兴三街6号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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