东京毅力科创株式会社植木达博获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利控制装置和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310277516.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权控制装置和存储介质是由植木达博;张健设计研发完成，并于2017-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制装置和存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种控制装置和存储介质。提供能够抑制基板的周缘部处的斜切处理的切割宽度的变动的技术。基板处理装置向旋转的基板的周缘部赋予处理液。基板处理装置具备旋转保持部、处理液喷出部、变动幅度获取部以及喷出控制部。旋转保持部保持基板而使基板旋转。处理液喷出部向被旋转保持部保持着的基板的周缘部喷出处理液。变动幅度获取部获取与基板的周缘部的变形量的变动幅度有关的信息。喷出控制部根据由变动幅度获取部获取的与周缘部的变形量的变动幅度有关的信息来控制来自处理液喷出部的处理液相对于周缘部的喷出角度和喷出位置。
本发明授权控制装置和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种控制装置，对从处理液喷出部向旋转的基板的周缘部供给处理液的基板处理装置的动作进行控制， 所述控制装置获取与所述基板的厚度方向上的所述周缘部的变形量的变动幅度有关的信息， 所述控制装置根据与所述周缘部的变形量的变动幅度有关的信息，来控制来自所述处理液喷出部的所述处理液相对于所述周缘部的喷出角度和喷出位置， 其中，与所述周缘部的变形量的变动幅度有关的信息包含所述基板的翘曲量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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