细美事有限公司金光烈获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利边缘曝光装置及光源输出控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115407614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210591745.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权边缘曝光装置及光源输出控制方法是由金光烈;殷吉洙设计研发完成，并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本边缘曝光装置及光源输出控制方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种边缘曝光装置，其用于通过将光照射在基板的边缘区域处来执行边缘曝光工艺。所述边缘曝光装置包括：支撑单元，其被配置为支撑所述基板；光照射单元，其具有光源，以用于将所述光照射到所述基板上；和控制单元，其被配置为控制所述光源的输出，并且其中所述控制单元包括：测量单元，其被配置为根据所述光源的所述输出测量照度值；和输出控制单元，其被配置为在由所述测量单元测量的照度值当中设定参考照度值，并基于所设定的参考照度值控制所述光源的所述输出。
本发明授权边缘曝光装置及光源输出控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于边缘曝光装置的、控制用于曝光基板的光源的输出的方法，所述方法包括： 根据所述光源的输出值测量照度值； 在所测量的照度值当中设定参考照度值；以及 基于所述参考照度值控制所述光源的所述输出， 其中所述方法还包括检查所设定的参考照度值处的照度值百分比是否为70％或更高，以检查所设定的参考照度值是否满足电稳定性，并且 其中所述方法还包括实时测量所述光源的所述输出，当实时测量的所述光源的所述输出从目标照度值的误差范围偏离时，控制光圈执行照度控制，并且当即使在控制所述光圈之后、实时测量的所述光源的所述输出仍从所述目标照度值的所述误差范围偏离时，增加所述光源的所述输出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励