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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116927B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210737334.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种工艺腔室是由王福来设计研发完成，并于2022-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明公开了一种工艺腔室，涉及半导体技术领域，包括：腔室本体，所述腔室本体内设置有可升降的基座、多个升针和升针托架；所述基座上沿竖直方向开设有贯穿所述基座的多个升针孔，多个所述升针设置于所述升针托架上且一一对应的穿设于多个所述升针孔内，所述基座的下表面设置有沿竖直方向延伸的导向件，所述升针托架与所述导向件滑动连接且止抵于所述导向件的下端，所述升针托架用于在所述基座升降时带动多个所述升针升降；解决现有技术中升针的顶部端面的面积较大导致升针对应的晶圆投影区域内的工艺均匀性变差的问题，及带有倒锥体状的限位结构的升针极易卡在基座上的升针孔内，不易拔出的问题。

本发明授权一种工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 腔室本体，所述腔室本体内设置有可升降的基座、多个升针和升针托架； 所述基座上沿竖直方向开设有贯穿所述基座的多个升针孔，多个所述升针设置于所述升针托架上且一一对应的穿设于多个所述升针孔内，所述基座的下表面设置有沿竖直方向延伸的导向件，所述升针托架与所述导向件滑动连接且止抵于所述导向件的下端，所述升针托架用于在所述基座升降时带动多个所述升针升降，其中， 所述基座位于传输位时，所述升针托架与所述腔室本体的底壁接触，多个所述升针从所述基座上表面伸出用于支撑晶圆；所述基座位于工艺位时所述升针托架与所述导向件的下端限位配合，多个所述升针的顶端不高于所述基座的上表面； 所述升针孔包括由上至下依次设置的配合孔和导向孔，所述配合孔的孔径小于所述导向孔的孔径，所述升针包括由上至下依次设置的配合部和导向部，所述导向部与所述导向孔滑动导向配合，所述配合孔与所述导向孔之间由第一导向锥面部过渡连接，所述配合部与所述导向部之间由第二导向锥面部过渡连接，所述第二导向锥面部与所述第一导向锥面部导向配合。

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