株式会社斯库林集团安武阳介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088727.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由安武阳介;石井弘晃;酒井涉;池上裕设计研发完成，并于2020-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：保持机构21将基板SB保持为水平。旋转机构22使保持基板SB的保持机构21旋转。喷嘴51朝基板SB供给处理液。喷嘴臂52保持喷嘴51。臂动作机构53使喷嘴臂52在俯视下与基板SB重叠的处理位置、及俯视下自基板SB偏离的退避位置之间移动。杯部3被配置在保持机构21的周围，承接来自基板SB的处理液。杯动作机构40使杯部3在上方位置与下方位置之间上下地移动。第一容器61以能够与杯部3一体地上下移动的方式被固定于杯部3，且能够收容位于退避位置的喷嘴51。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其用于使用处理液来处理基板，具备： 保持机构，其将上述基板保持为水平； 旋转机构，其使保持了上述基板的上述保持机构旋转； 喷嘴，其朝上述基板供给上述处理液； 喷嘴臂，其保持上述喷嘴； 臂动作机构，其使上述喷嘴臂在俯视下上述喷嘴与上述基板重叠的处理位置、及俯视下上述喷嘴自上述基板偏离的退避位置之间移动； 杯部，其被配置在上述保持机构的周围，承接来自上述基板的上述处理液； 杯动作机构，其使上述杯部在上方位置与下方位置之间上下地移动； 第一容器，其以能够与上述杯部一体地上下移动的方式被固定于上述杯部，且能够收容位于上述退避位置的上述喷嘴；及 控制部，具有第一控制模式，在该第一控制模式下，在上述喷嘴位于上述退避位置时，以使上述杯部自上述下方位置朝上述上方位置移动的方式控制上述杯动作机构， 上述上方位置被设定为，在上述第一控制模式下上述杯部移动到上述上方位置时，上述第一容器的上表面位于上述喷嘴的顶端部的上方。
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