细美事有限公司方济午获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111062107.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由方济午;李宗根设计研发完成，并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理装置。在一实施方案中，基板处理装置包括具有处理空间的工艺腔室、在处理空间中支承基板的支承单元、以及将工艺气体供应到处理空间中的供应管线，并且支承单元包括加热板和绝缘层，在该加热板下表面上具有加热器图案并且该加热板加热被支承的基板，绝缘层覆盖加热器图案和加热板的下表面。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括： 工艺腔室，所述工艺腔室具有处理空间； 支承单元，所述支承单元配置为在所述处理空间中支承基板；以及 供应管线，所述供应管线配置为将工艺气体供应到所述处理空间中； 其中，所述支承单元包括： 加热板，在所述加热板的下表面上设置有加热器图案、并且所述加热板配置为加热被支承的所述基板；以及 绝缘层，所述绝缘层覆盖所述加热器图案和所述加热板的所述下表面，其中，在所述绝缘层的上表面形成有图案凹槽，所述加热器图案插入到所述图案凹槽中； 其中，所述加热器图案由Ag系材料形成在所述加热板的下表面上，所述绝缘层覆盖所述加热器图案和所述加热板的下表面、从而保护所述加热器图案免受外部环境的影响； 其中，所述工艺腔室包括分隔壁，所述支承单元由分隔壁的上表面支承； 其中，所述工艺气体包括湿气； 其中，所述加热板具有1mm至2mm的厚度，并且 其中，所述绝缘层具有2mm至3mm的厚度， 其中，所述绝缘层由环氧树脂模塑料形成， 其中，所述环氧树脂模塑料包括： 相对于总计100wt%， 65wt％至88wt％的无机填料； 7wt％至30wt％的环氧树脂； 2wt％至13wt％的环氧树脂固化剂；以及 1.25wt％至3wt％的添加剂。
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