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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其检修方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300393B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111660464.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权半导体工艺设备及其检修方法是由袁和传;闫士泉;杨帅设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及其检修方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其检修方法，半导体工艺设备包括控制装置、第一驱动组件、影像采集装置和检修机械手，其中：所述控制装置包括箱体和箱门，所述箱体包括连通的收容腔和开口，所述箱门在所述开口处活动连接于所述箱体；所述第一驱动组件与所述箱门连接，并用于驱动所述箱门开启或关闭；所述影像采集装置可用于在所述箱门开启时，采集所述收容腔内的影像信息；所述检修机械手可用于在所述箱门开启时，伸入所述收容腔内进行检修作业。上述方案能够解决在检修控制柜时，存在的安全风险较高、人力成本较高以及净化间的洁净度变差的技术问题。

本发明授权半导体工艺设备及其检修方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括控制装置、第一驱动组件、影像采集装置和检修机械手，其中： 所述控制装置包括箱体和箱门，所述箱体包括连通的收容腔和开口，所述箱门在所述开口处活动连接于所述箱体；所述第一驱动组件与所述箱门连接，并用于驱动所述箱门开启或关闭； 所述影像采集装置可用于在所述箱门开启时，采集所述收容腔内的影像信息；所述检修机械手可用于在所述箱门开启时，伸入所述收容腔内进行检修作业； 所述半导体工艺设备还包括调节机构，所述调节机构为天车机构，所述天车机构包括第一天车、第二天车、天车导轨组和第二驱动组件，所述第一天车和所述第二天车均滑动设置于所述天车导轨组上，所述第二驱动组件用于驱动所述第一天车和所述第二天车沿所述天车导轨组在第一平面移动； 所述第一天车与所述影像采集装置连接，并用于驱动所述影像采集装置沿第三方向移动，以及驱动所述影像采集装置围绕所述第三方向转动； 所述第二天车与所述检修机械手连接，并用于驱动所述检修机械手沿第三方向移动，以及驱动所述检修机械手围绕所述第三方向转动； 所述第三方向垂直于所述第一平面。

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